新型的硅深刻蝕技術(shù)

新型的硅深刻蝕技術(shù)

牛津儀器發(fā)布了名為PlasmaPro® Estrelas100的硅深刻蝕技術(shù)，該技術(shù)提供了工業(yè)級(jí)的工藝性能，可以為微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）市場提供極為靈活的解決方案。

考慮到研發(fā)領(lǐng)域的需要，PlasmaPro® Estrelas100提供了*的工藝靈活性。因?yàn)橛布脑O(shè)計(jì)考慮到了在同一個(gè)空間內(nèi)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)多步刻蝕（Bosch™）和冷凍刻蝕的技術(shù)條件，所以可以刻蝕出微米和納米級(jí)的結(jié)構(gòu)。無論是光滑側(cè)壁處理，還是高速率刻蝕，PlasmaPro® Estrelas100都已經(jīng)考慮到，無需改變反應(yīng)室的硬件就可以滿足微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域復(fù)雜多變的需求。

伴隨著新型微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的發(fā)展和商業(yè)化，一些傳統(tǒng)的器件如加速度計(jì)、陀螺儀和麥克風(fēng)持續(xù)大量的被應(yīng)用到各種的消費(fèi)電子產(chǎn)品，包括顯示器、汽車產(chǎn)品等。微機(jī)電系統(tǒng)可以滿足需要小型化器件或傳感器領(lǐng)域的需求。在研發(fā)領(lǐng)域的嶄新需求包括：能量收集器、揚(yáng)聲器、無線射頻識(shí)別技術(shù)、微型投影儀、振蕩器、微電池以及自動(dòng)對焦技術(shù)等等。

“牛津儀器的等離子技術(shù)部門將一如既往地為已有的或新出現(xiàn)的微機(jī)電系統(tǒng)應(yīng)用市場開發(fā)先進(jìn)的工藝技術(shù)” ，牛津儀器等離子技術(shù)銷售主管Mark Vosloo評(píng)論說，“由于帶有寬泛的工藝和應(yīng)用組合，我們的技術(shù)滿足了當(dāng)前的和未來的技術(shù)需求。我們在微機(jī)電系統(tǒng)的研發(fā)領(lǐng)域有著超過19年的經(jīng)驗(yàn)，我們對市場需求充分了解，能夠真正地掌握客戶的需求并為他們提供的工具。”

*化的硬件和工藝控制，以及杰出的客戶服務(wù)，意味著牛津儀器可以為其客戶持續(xù)提供產(chǎn)品，這些都可以大大降低客戶的成本。

新系統(tǒng)的成功開發(fā)，鞏固了牛津儀器在新一代工具和系統(tǒng)的工業(yè)和研發(fā)市場中的供應(yīng)商的地位，這得益于我們對微觀尺度物質(zhì)的分析和操控能力。公司開拓創(chuàng)新，把智能科技應(yīng)用到*的產(chǎn)品中，為21世紀(jì)研發(fā)和工業(yè)應(yīng)用所面臨的挑戰(zhàn)提供了可靠的支持。



關(guān)于牛津
　　牛津儀器公司于1959年創(chuàng)建于英國牛津，現(xiàn)已成為世界的科學(xué)儀器跨國集團(tuán)公司，是光譜儀、測厚儀、能譜儀、等離子設(shè)備、超導(dǎo)超低溫產(chǎn)品、核磁共振儀、低溫泵壓縮機(jī)、X射線管等方面的專家，擁有分布于英國、美國、芬蘭、丹麥、德國和中國的十幾個(gè)工廠以及遍及的分公司或辦事處。
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